檢測(cè)內(nèi)容：

高度差

檢測(cè)設(shè)備：

鐳爍光電激光3D輪廓傳感器LS-A80007

主要性能指標(biāo)：X方向測(cè)量范圍0~7mm，Z方向范圍0~5mm，精度±3μm，重復(fù)精度1μm。

檢測(cè)原理：

利用激光三角反射原理，激光束被放大成一條激光線投射到被測(cè)物體表面上，反射光透過(guò)高質(zhì)量光學(xué)系統(tǒng)，投射到成像矩陣上，經(jīng)計(jì)算得到傳感器到被測(cè)量表面的距離（Z軸）和沿著激光線的位置信息（X軸），移動(dòng)被測(cè)量物體或者輪廓儀探頭，就可以得到一組三維測(cè)量值。

初步說(shuō)明：

重復(fù)測(cè)量10次：

綜合說(shuō)明：

1. 高度差1測(cè)量在沒(méi)有定位治具的情況下取放誤差20微米，預(yù)計(jì)治具定位后精度在10微米左右

2. 高度差2因?yàn)闇y(cè)量區(qū)域過(guò)小，直接測(cè)量誤差較大，需要特殊算法